近日，晶圓級(jí)微機(jī)電鑄造技術(shù)及解決方案提供商——上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司(下簡(jiǎn)稱(chēng)“邁鑄半導(dǎo)體”)完成千萬(wàn)級(jí)Pre A輪融資，本輪融資由武漢至華投資有限公司、廣州潤(rùn)明策投資發(fā)展合伙企業(yè)、上海綠河晟陽(yáng)創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)共同投資。據(jù)悉，本輪融資資金用于公司下一代合金材料微鑄造工藝的研發(fā)、新研發(fā)中心建設(shè)、市場(chǎng)推廣和團(tuán)隊(duì)擴(kuò)張等。

邁鑄半導(dǎo)體是怎樣一家公司?資料顯示，邁鑄半導(dǎo)體成立于2018年，致力于晶圓級(jí)MEMS-Casting技術(shù)的研發(fā)和相關(guān)產(chǎn)品生產(chǎn)與技術(shù)服務(wù)。此外，公司是中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所孵化企業(yè)，核心團(tuán)隊(duì)主要來(lái)自中科院微系統(tǒng)所，掌握微鑄造核心技術(shù)，擁有平均十年以上的行業(yè)工作經(jīng)驗(yàn)。目前邁鑄半導(dǎo)體擁有核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)18項(xiàng)、發(fā)表行業(yè)國(guó)際學(xué)術(shù)論文超25篇。

MEMS-Casting，即為“微機(jī)電領(lǐng)域的鑄造”，是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)。該技術(shù)將微納原理應(yīng)用于鑄造，從而將鑄造縮小一百萬(wàn)倍，在晶圓級(jí)制造領(lǐng)域最小可鑄造結(jié)構(gòu)尺寸達(dá)20μm，最大可以到8''晶圓的金屬化填充，并可實(shí)現(xiàn)多種合金材料的填充，具有沉積速度快，工藝過(guò)程清潔無(wú)污染以及非常適合復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)制造等優(yōu)點(diǎn)。

作為一項(xiàng)底層的平臺(tái)性技術(shù)，MEMS-Casting目前主要應(yīng)用在三個(gè)領(lǐng)域：半導(dǎo)體先進(jìn)封裝的過(guò)孔互連TSV金屬化填充、芯片式螺線線圈以及射頻器件。在半導(dǎo)體先進(jìn)封裝領(lǐng)域，MEMS-Casting可在厚金屬沉積工藝中實(shí)現(xiàn)對(duì)電鍍的替代補(bǔ)充，物理鑄造的方式解決了電鍍液帶來(lái)的重金屬污染問(wèn)題，且成本更低、沉積速度高效。市場(chǎng)方面，預(yù)計(jì)2023年半導(dǎo)體先進(jìn)封厚金屬代工服務(wù)約為500億市場(chǎng)規(guī)模。

同時(shí)，基于MEMS-Casting的芯片線圈具有器件一致性好、加工精度高、容易集成等優(yōu)點(diǎn)，更易達(dá)成晶圓級(jí)批量制造需求。目前邁鑄半導(dǎo)體已經(jīng)成功研發(fā)了四種基于微機(jī)電鑄造技術(shù)的?Casting?線圈。芯片式螺線線圈可用于功率電感、電磁式能量采集、電壓耦合器、磁通門(mén)線圈等眾多領(lǐng)域，總計(jì)有數(shù)百億規(guī)模，市場(chǎng)潛力巨大。

從技術(shù)產(chǎn)業(yè)化方面來(lái)看，邁鑄半導(dǎo)體根據(jù)產(chǎn)業(yè)需求現(xiàn)已完成了多項(xiàng)設(shè)備研制及工藝開(kāi)發(fā)，可滿足4/6/8寸晶圓微機(jī)電鑄造的工藝需求;多種合金的晶圓級(jí)鑄造工藝開(kāi)發(fā);專(zhuān)用噴嘴片的研發(fā)和設(shè)計(jì)規(guī)范等。同時(shí)，公司在今年完成了新的研發(fā)中心建設(shè)，除了自研的微機(jī)電鑄造專(zhuān)用設(shè)備外，還配備了深硅刻蝕設(shè)備、研磨設(shè)備、劃片機(jī)以及打線機(jī)等，打通了MEMS-Casting技術(shù)應(yīng)用的上下游工藝環(huán)節(jié)，并已具備小批量量產(chǎn)能力。目前邁鑄就這項(xiàng)技術(shù)在光刻機(jī)、磁通門(mén)電流傳感器以及國(guó)防等領(lǐng)域的應(yīng)用正在與多家機(jī)構(gòu)展開(kāi)合作研發(fā)。

關(guān)于未來(lái)發(fā)展規(guī)劃，邁鑄CEO顧杰斌博士表示：“基于獨(dú)創(chuàng)的微機(jī)電鑄造技術(shù)，邁鑄希望能為行業(yè)提供一種清潔高效的厚金屬沉積解決方案，并實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)技術(shù)在半導(dǎo)體先進(jìn)封裝和MEMS電磁器件中的廣泛應(yīng)用。除了擴(kuò)展這項(xiàng)技術(shù)在新的領(lǐng)域特別是在消費(fèi)類(lèi)電子的應(yīng)用外，公司還在與國(guó)內(nèi)頭部的有色金屬研究院共同研發(fā)下一代更高的導(dǎo)電率鋁合金材料以及相應(yīng)的填充工藝，屆時(shí)可以進(jìn)一步拓展這項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用空間。”

對(duì)此，參與投資的綠河晟陽(yáng)投資人表示：晶圓級(jí)MEMS-Casting技術(shù)作為一項(xiàng)獨(dú)創(chuàng)的小尺寸微鑄成型原研技術(shù)，在半導(dǎo)體TSV填充、被動(dòng)電子元器件、射頻器件等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)始人顧杰斌博士在該領(lǐng)域擁有10多年的技術(shù)積累，目前在原料配方、生產(chǎn)工藝和工藝設(shè)備均已完成從實(shí)驗(yàn)室技術(shù)向產(chǎn)業(yè)化的轉(zhuǎn)型，我們看好邁鑄半導(dǎo)體未來(lái)的發(fā)展。

至華投資的投資人說(shuō)，至華一直專(zhuān)注于半導(dǎo)體材料及設(shè)備領(lǐng)域的投資，投資邁鑄帶有一定的偶然因素。認(rèn)識(shí)顧博士之前我們沒(méi)有想過(guò)居然有人可以把深硅刻蝕技術(shù)用于金屬鑄造，這是一個(gè)非常廣闊的應(yīng)用場(chǎng)景，但行業(yè)里有能力掌握橫跨多個(gè)學(xué)科復(fù)雜知識(shí)的企業(yè)少之又少。邁鑄在技術(shù)方面的領(lǐng)先性是我們投資的主要因素，同時(shí)我們也十分看好邁鑄的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)。

此外，潤(rùn)明策投資表示，潤(rùn)明策于2021年完成了對(duì)“邁鑄半導(dǎo)體”項(xiàng)目的早期投資。以顧博士為代表的原上海微系統(tǒng)所的資深科研團(tuán)隊(duì)、中科院所的資源支持，以及結(jié)合了新材料和新工藝的“MEMS-Casting”技術(shù)天然形成的“護(hù)城河”，是促成此次投資交易達(dá)成的重要因素。邁鑄半導(dǎo)體以其深厚的技術(shù)積淀，在對(duì)厚金屬電化學(xué)沉積這一傳統(tǒng)加工方法的挑戰(zhàn)上，已經(jīng)初步展示了它蓬勃的市場(chǎng)生命力和技術(shù)優(yōu)勢(shì)。隨著陸續(xù)交付的一批批創(chuàng)新型產(chǎn)品及多元化應(yīng)用場(chǎng)景的逐步開(kāi)啟，我們始終相信這間具備全球性競(jìng)爭(zhēng)力的初創(chuàng)企業(yè)，終將走向一片藍(lán)色天空。

(關(guān)鍵字：半導(dǎo)體)